隨著集成電路制造與太陽能電池等產(chǎn)品對多晶硅需求的增長,我國多晶硅的自主供貨一直存在著嚴(yán)重的缺口,特別是近年來多晶硅市場售價的暴漲,已經(jīng)危及到我國多晶硅下游產(chǎn)業(yè)的正常運營,并成為制約我國信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。最近,中國電子材料行業(yè)協(xié)會在北京組織召開多晶硅材料“十一五”科技發(fā)展戰(zhàn)略研討會,業(yè)界的領(lǐng)導(dǎo)、專家以及企業(yè)家代表對如何加快我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)行了深入的探討。
特邀嘉賓
戴國強(qiáng) 科技部高新司副司長
關(guān)白玉 信息產(chǎn)業(yè)部電子信息產(chǎn)品管理司集成電路處處長
簡水生 中國科學(xué)院院士
袁 桐 中國電子材料行業(yè)協(xié)會副秘書長
朱黎輝 中國電子材料行業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體材料分會秘書長
楊玉安 洛陽中硅高科技有限公司總經(jīng)理
陳紹章 新光硅業(yè)科技公司總經(jīng)理
林必清 寧波立立電子股份有限公司副總經(jīng)理
李本成 阿特斯太陽能光電(蘇州)有限公司副總經(jīng)理
馮地直 峨嵋半導(dǎo)體材料廠副總工
嚴(yán)大洲 中國有色工程設(shè)計研究總院總設(shè)計師
張 椿 北京有色金屬研究總院教授
如何看待我國發(fā)展多晶硅材料產(chǎn)業(yè)的重要性?
戴國強(qiáng) 多年來,我國在多晶硅的研究和生產(chǎn)方面取得了一定的成績,但離需求的差距還相當(dāng)大。通過對多晶硅生產(chǎn)發(fā)達(dá)國家,特別是7個多晶硅主要生產(chǎn)企業(yè)的總產(chǎn)量、技術(shù)路線以及具體應(yīng)用需求狀況的分析,我們可以看到他們的態(tài)度、目標(biāo)、預(yù)測和策略是什么,在此基礎(chǔ)上,我們更要分析中國的市場機(jī)遇又是什么。多晶硅市場不管每年是以17%還是30%的速度增長,對我們國家來說都是相當(dāng)大的挑戰(zhàn)。
關(guān)白玉 國家對材料緊缺的問題已越來越重視,電子信息產(chǎn)業(yè)應(yīng)在節(jié)能方面做貢獻(xiàn)。太陽能電池作為綠色能源近期在我國發(fā)展很快,必須考慮太陽能級多晶硅的國產(chǎn)化;半導(dǎo)體照明對節(jié)能、環(huán)保作用明顯,應(yīng)該加快相應(yīng)半導(dǎo)體材料的發(fā)展。創(chuàng)造更好的環(huán)境和手段來促進(jìn)半導(dǎo)體材料的發(fā)展,不僅能緩解能源短缺狀況,而且符合建設(shè)節(jié)約型社會的宏觀要求。
袁 桐 多晶硅是集冶金、化工、自動控制、電子學(xué)以及環(huán)保工程等學(xué)科為一體的工業(yè)化產(chǎn)業(yè)。多晶硅材料是硅產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈中的一個極其重要的中間產(chǎn)品。它是制造硅拋光片、太陽能電池及高純硅制品的主要原料,也是發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)的重要基石。
當(dāng)前多晶硅在發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)方面已被擺到越來越突出的位置。近一兩年來,在生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品(特別是用于太陽能電池的多晶硅)的技術(shù)路線方面,世界多晶硅主要生產(chǎn)國家正在積極開發(fā)新工藝、新設(shè)備和新技術(shù)。這些研發(fā)工作表現(xiàn)得十分活躍,并獲得了眾多的研究新成果和新突破。這也預(yù)示著世界多晶硅工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)一個新的飛躍即將到來。
林必清 從目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展來看,全球半導(dǎo)體制造業(yè)在向中國內(nèi)地轉(zhuǎn)移,中國有市場,有產(chǎn)能,但多晶硅材料供應(yīng)緊張、得不到保障的狀況會對產(chǎn)業(yè)的發(fā)展造成影響,因此,要建立滿足我國市場巨大需求的多晶硅生產(chǎn)基地,避免受制于人,從而保證集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略資源的安全。從這一意義上來說,建立多晶硅生產(chǎn)基地,對集成電路產(chǎn)業(yè)來說比對太陽能產(chǎn)業(yè)還要重要。
張 椿 多晶硅生產(chǎn)多年來一直以提高純度,綜合利用,降低成本為宗旨,其純度達(dá)到11個“9”,以滿足半導(dǎo)體級多晶硅的需要,而太陽能用多晶硅的純度為6個“9”以上。多晶硅廠過去供給太陽能應(yīng)用的多是等外品(約占生產(chǎn)總量的10%左右),以及單晶硅的頭尾料和堝底料。由于電子工業(yè)的發(fā)展速度并不理想,2000年出現(xiàn)了泡沫經(jīng)濟(jì),擴(kuò)建后的多晶硅廠產(chǎn)品供過于求,經(jīng)營相當(dāng)困難,目前主要是太陽能級多晶硅材料緊缺,因此對于擴(kuò)大產(chǎn)能,各廠都持謹(jǐn)慎態(tài)度。
有國外機(jī)構(gòu)預(yù)測,2005年世界多晶硅的產(chǎn)量為2.88萬噸,其中半導(dǎo)體級為2.07萬噸,太陽能級為8100噸。從需求看,半導(dǎo)體級需求量約為1.9萬噸,略有過剩,太陽能級的需求量為1萬噸,呈現(xiàn)供不應(yīng)求態(tài)勢。
嚴(yán)大洲 為鼓勵新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,國家發(fā)展和改革委員會文件(發(fā)改辦高技【2005】509號)明確要求,組織實施“可再生能源和新能源高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化專項”,明確提出“解決我國太陽能電池用多晶硅原料生產(chǎn)和光伏產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展不平衡的問題”,以促使我國光伏產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。我國《可再生能源法》的實施,將會進(jìn)一步推動太陽能電池行業(yè)的發(fā)展,為多晶硅創(chuàng)造更廣闊的市場。太陽能電池的發(fā)展將大大帶動多晶硅需求的增加。專家預(yù)計,2005年我國多晶硅需求將達(dá)到3800噸,2010年用于太陽能電池生產(chǎn)的多晶硅將達(dá)4365噸,2015年為1.62萬噸。若不以自主知識產(chǎn)權(quán)改變國內(nèi)多晶硅的生產(chǎn)現(xiàn)狀,加快多晶硅生產(chǎn)企業(yè)擴(kuò)建或新建步伐,我國多晶硅產(chǎn)業(yè)受制于國際市場的狀況將無法改變,這將危及我國集成電路、半導(dǎo)體器件和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
對我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的狀況如何評價?
袁 桐 多年來,我國多晶硅的自主供貨存在著嚴(yán)重的缺口,無論是半導(dǎo)體用還是太陽能電池用的多晶硅基本都靠進(jìn)口,特別是由于近年多晶硅市場售價的暴漲,已經(jīng)危及到我國多晶硅下游眾多企業(yè)的正常運營,甚至影響到企業(yè)的生存問題,并成為制約我國信息產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。
朱黎輝 我國要建立百噸級的多晶硅項目,國家正式立項已有三次,但最后都沒有建成,主要原因有三方面:一是市場驅(qū)動力沒有現(xiàn)在大;二是國家資金有限;三是技術(shù)指標(biāo)與國外有差距。
嚴(yán)大洲 我國多晶硅工業(yè)起步于20世紀(jì)50年代,60年代中期實現(xiàn)了小規(guī)模產(chǎn)業(yè)化,70年代初曾盲目發(fā)展,生產(chǎn)廠多達(dá)20余家,但由于生產(chǎn)規(guī)模小、工藝技術(shù)落后、環(huán)境污染嚴(yán)重、消耗大、成本高,絕大部分企業(yè)因虧損而相繼停產(chǎn)或轉(zhuǎn)產(chǎn),到2004年只剩下兩家工廠,生產(chǎn)能力僅為100噸/年,多晶硅實際產(chǎn)量約80噸。到2005年,隨著“863”項目支持的洛陽中硅高科技有限公司300噸/年產(chǎn)業(yè)化項目的投產(chǎn),全國多晶硅產(chǎn)能將達(dá)到400噸/年,由于投產(chǎn)后需要一段時間才能達(dá)產(chǎn),預(yù)計2005年全國多晶硅產(chǎn)量約為180噸。
我國多晶硅產(chǎn)業(yè)在發(fā)展過程中存在哪些問題?與國外的主要差距是什么?
簡水生 21世紀(jì)是能源危機(jī)的世紀(jì),也是綠色能源革命的世紀(jì),我們要抓住機(jī)遇實現(xiàn)跨越式發(fā)展。太陽能照在地球的能量是我們?nèi)祟愃枘芰康纳先f倍,太陽能照在我們國土上的能量相當(dāng)于2.4萬億噸標(biāo)準(zhǔn)煤產(chǎn)生的能量。現(xiàn)在的核心問題是價格問題,現(xiàn)在太陽能價格太貴了,而半導(dǎo)體照明雖然能節(jié)省90%的能量,但要實現(xiàn)應(yīng)用,效率還要提高8倍,價格也要降低100倍,因此加速我國多晶硅及光電子材料循環(huán)經(jīng)濟(jì)工業(yè)基地建設(shè)很有必要。
楊玉安 國內(nèi)多晶硅與國外相比,差距主要體現(xiàn)在如下幾方面:生產(chǎn)規(guī)模小;同類產(chǎn)品生產(chǎn)單位能耗高(尤其是電單位能耗);千噸級工藝及裝備技術(shù)的可靠性、先進(jìn)性、成熟性以及各子系統(tǒng)相互間的匹配性,有待生產(chǎn)運行驗證,有待于完善與改進(jìn)。
陳紹章 我國多晶硅在工業(yè)生產(chǎn)方面與國際先進(jìn)水平的差距主要表現(xiàn)在四個方面:一是工藝、設(shè)備落后,導(dǎo)致物料與電力消耗過大;二是生產(chǎn)規(guī)模小,現(xiàn)在公認(rèn)最小經(jīng)濟(jì)規(guī)模為1000噸/年,而我國現(xiàn)階段企業(yè)30噸/年~50噸/年就是大的了;三是超高純產(chǎn)品(B<0.03ppb)難以獲得;四是成本沒有競爭力。
對我國多晶硅的市場與產(chǎn)業(yè)前景如何判斷?
陳紹章 雖然一段時間內(nèi)國際多晶硅市場需求旺盛,國內(nèi)市場缺口很大,但應(yīng)該看到,我國多晶硅產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)差、底子薄,國外又對我們進(jìn)行技術(shù)封鎖;如果出現(xiàn)遍地開花、搞重復(fù)建設(shè)的局面,對這個行業(yè)的發(fā)展將極為不利,因此,建議政府和行業(yè)主管部門加強(qiáng)管理,新建項目一定要謹(jǐn)慎,最好選擇現(xiàn)有具備條件的1個到2個工廠走改建擴(kuò)產(chǎn)之路,而較為合理的經(jīng)濟(jì)規(guī)模在每年2500噸。
嚴(yán)大洲 全世界電路級多晶硅生產(chǎn)與銷售按實際需求調(diào)整,產(chǎn)銷基本平衡。為加速普及太陽能發(fā)電,世界各國無不下大力氣開發(fā)和利用太陽能技術(shù),導(dǎo)致太陽能電池每年以30%以上的速度呈現(xiàn)跳躍式發(fā)展,使得太陽能級多晶硅遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足需求。
2003年世界太陽能電池產(chǎn)量為744兆瓦,多晶硅需求為8700噸以上;2004年世界太陽能電池產(chǎn)量為1000兆瓦,多晶硅需求在1.2萬噸以上。專家預(yù)測,2005年世界太陽能電池產(chǎn)量為1300兆瓦,多晶硅需求將達(dá)到1.56萬噸以上。由于市場嚴(yán)重供不應(yīng)求,太陽能級多晶硅價格上漲,部分廠家搶購電路級多晶硅,導(dǎo)致全球電路級多晶硅供應(yīng)緊張,拉動了電路級多晶硅產(chǎn)品價格上揚(yáng)。在世界范圍內(nèi),太陽能級多晶硅的生產(chǎn)與供應(yīng)已嚴(yán)重制約太陽能電池的發(fā)展。
李本成 多晶硅核心技術(shù)都在國外,但國外從事多晶硅生產(chǎn)的各個公司都在獨立發(fā)展,引進(jìn)技術(shù)沒有可能。多晶硅的環(huán)保和清潔生產(chǎn)很重要,不能選在人口稠密的地方和旅游區(qū),多晶硅項目風(fēng)險大,加工時間長,設(shè)備調(diào)試時間長,花錢多,而且建成后有可能不被市場接受,因此,即使市場短缺也沒人輕易動手。從我國目前的市場情況看,建設(shè)兩個5000噸級的多晶硅工廠還是需要和必要的。
如何加快我國多晶硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展?
國強(qiáng) 我們要研究中國在經(jīng)濟(jì)全球化的大鏈條中做什么。在太陽能電池生產(chǎn)方面,日本占了總量的一半,而我國的產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點是成長速度比較快,已經(jīng)擁有了幾個快速增長并在太陽能電池產(chǎn)業(yè)發(fā)展中起龍頭作用的企業(yè)。
作為半導(dǎo)體制造需要的多晶硅材料,我國下一步也會有大的發(fā)展,因為現(xiàn)在國內(nèi)已經(jīng)有12英寸晶圓廠投產(chǎn),8英寸晶圓廠有多條線在運轉(zhuǎn),還有幾條線在積極籌備當(dāng)中,未來還會有新的資金投入半導(dǎo)體制造,這對我國半導(dǎo)體制造用多晶硅也是非常大的挑戰(zhàn),在這一過程中,我們要采取什么對策,從技術(shù)角度又能解決什么問題是要重點考慮的。
我們現(xiàn)在更多地考慮了電耗,關(guān)注的是每公斤多晶硅生產(chǎn)電耗是500度、300度還是日本的150度,甚至再低,但實際上我們應(yīng)該從系統(tǒng)的角度出發(fā),重點考慮一些戰(zhàn)略性問題:我們在技術(shù)上需要解決什么問題,多晶硅如何更有效的使用等一系列問題。此外,我們還要從能源、材料以及設(shè)備角度去考慮如何為太陽能和半導(dǎo)體生產(chǎn)用多晶硅來提供支撐。
我們要把多年來國家已經(jīng)積累的技術(shù)基礎(chǔ)進(jìn)行系統(tǒng)集成,國家在中長期戰(zhàn)略規(guī)劃中已經(jīng)明確提出了十六字發(fā)展方針,即“自主創(chuàng)新,重點跨越,支撐發(fā)展,引領(lǐng)未來”。在支撐發(fā)展方面要起到科技的引領(lǐng)作用,我們之前已經(jīng)和國家發(fā)改委有了很好的聯(lián)系,我們的研究成果要和國家發(fā)改委的產(chǎn)業(yè)和行業(yè)的計劃緊密地銜接,為下一步形成科技與經(jīng)濟(jì)的聯(lián)合體提供科技的支撐。
希望企業(yè)和研究單位都制定出自己的發(fā)展路線圖,也希望大家能為國家發(fā)展戰(zhàn)略路線圖出謀劃策,通過這樣一個路線圖,用經(jīng)濟(jì)的計劃和目標(biāo)來規(guī)劃技術(shù)方面必須解決的問題,為下一步有序發(fā)展奠定更好的基礎(chǔ)。
簡水生 綠色能源革命,太陽能電池應(yīng)該唱主角,但為什么沒有列入國家中長期發(fā)展規(guī)劃?表面的原因是太陽能電池太貴了,但核心的問題是太陽能電池的材料多晶硅的發(fā)展存在瓶頸。在太陽能電池多晶硅耗能方面,提高效率是唯一的出路。要降低能耗和成本的有效辦法就是生產(chǎn)薄膜的單晶硅和多晶硅太陽能電池,這是目前全世界都面臨的課題。如果我們能直接生產(chǎn)出十幾微米到二十幾微米、性能牢靠的薄膜太陽能電池,我們國家的能源問題就解決了,價格如果能降低十倍,就能和現(xiàn)在的火力發(fā)電相媲美,科技部要重視這個問題,要注重原始性的創(chuàng)新,要有自己獨到的見解。
我們國家應(yīng)該建立一個多晶硅的基地,這一基地的產(chǎn)值可以到上百億元甚至到上千億元,如果我們能建幾個這樣的基地,我們國家的綜合國力將得到極大的提高。
袁 桐 需求形勢的發(fā)展,無論是在擴(kuò)大我國多晶硅生產(chǎn)規(guī)模上,還是在研發(fā)探索節(jié)省能源,提高生產(chǎn)效率,降低成本,提升效益的多晶硅生產(chǎn)新工藝上,都給我國硅材料產(chǎn)業(yè)提出了一個緊迫的重要任務(wù)。我國的多晶硅材料面臨重要關(guān)卡。
張 椿 我們主張政府主導(dǎo),多方融資,打破壟斷,自主創(chuàng)新。
現(xiàn)在想上多晶硅項目的地方很多,希望政府能夠組織協(xié)調(diào),避免曾發(fā)生的單晶硅重復(fù)建廠的歷史。另外,多晶硅的老專家很重要,應(yīng)該組織到一起進(jìn)行研究。多方融資,多個省,上下游產(chǎn)業(yè)鏈,包括民營企業(yè),多方共同建設(shè),共擔(dān)風(fēng)險。從目前來看,國際市場上供需缺口大,但未來價格不可能保證不下跌,而且,多晶硅廠確保生產(chǎn)安全的難度也很大,可能保證5年不出事故,但不能保證10年、20年不出事故。技術(shù)上必須自主創(chuàng)新,依靠轉(zhuǎn)移不可能。
此外,選址很重要,要考慮電力豐富、價格低廉,每度電應(yīng)在0.2元以下,最好附近要有氯堿工業(yè)的地方。
楊玉安 發(fā)展壯大我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的技術(shù)條件基本具備,其他條件也準(zhǔn)備充分。多晶硅產(chǎn)業(yè)屬于投入與產(chǎn)出比小的高技術(shù)產(chǎn)業(yè),也屬于資金技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)。國家和相關(guān)需求行業(yè)應(yīng)加大對多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)、完善改進(jìn)及在建項目的支持力度。抓住有利時機(jī),發(fā)展壯大我國多晶硅產(chǎn)業(yè),消除制約國內(nèi)相關(guān)行業(yè)企業(yè)發(fā)展壯大的瓶頸,滿足國內(nèi)相關(guān)行業(yè)發(fā)展的需要。
陳紹章 政府應(yīng)該加大對多晶硅行業(yè)的支持力度。建議行業(yè)協(xié)會多呼吁,不僅希望得到政府資金支持,還應(yīng)該出臺對幼稚工業(yè)的保護(hù)政策(如稅收和補(bǔ)貼、特殊的信貸政策等)。
多晶硅是一個高耗能的產(chǎn)業(yè),國外多晶硅工廠都建在電力資源豐富、價格低廉的地區(qū),建議有關(guān)部門研究出臺相應(yīng)的針對多晶硅行業(yè)的電價政策。
加強(qiáng)對多晶硅生產(chǎn)的基礎(chǔ)研究。建議科技部在現(xiàn)有的大型企業(yè)里設(shè)立國家級的技術(shù)研究中心,開展多晶硅的基礎(chǔ)研究,例如太陽能級多晶硅的新工藝技術(shù)研究、大型還原爐的研究、副產(chǎn)品綜合利用的研究等。
林必清 在多晶硅領(lǐng)域,依靠技術(shù)轉(zhuǎn)移和與國外企業(yè)合資都不太可能,因此,要丟掉幻想,在多晶硅技術(shù)研發(fā)上下功夫,聯(lián)合攻關(guān),研發(fā)多晶硅生產(chǎn)新技術(shù)、新工藝。
另外,國外多晶硅廠家多元投資的模式可以借鑒,聯(lián)合上下游企業(yè)通過參股的辦法,多元投資,擴(kuò)大規(guī)模,降低成本,形成完整的自主研發(fā)和供應(yīng)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,如果國內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量可靠,性價比好,我們會優(yōu)先采用。
馮地直 目前多晶硅的供應(yīng)面臨嚴(yán)峻的形勢,隨著各國政府對光伏產(chǎn)業(yè)推動力的加大,多晶硅供應(yīng)的短缺局面會加劇,而多晶硅企業(yè)的新增產(chǎn)能已被一些企業(yè)鎖定,加快中國多晶硅材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展時不我待,因此呼吁國家制定優(yōu)惠政策,以支持國內(nèi)相關(guān)企業(yè)單位在與國外企業(yè)同等成本的前提下,從事新工藝和新技術(shù)的研究。
從目前國內(nèi)的情況看,想上多晶硅項目的企業(yè)和地方很多,但多晶硅產(chǎn)業(yè)不但技術(shù)門檻高,風(fēng)險大,而且需要一個專業(yè)的團(tuán)隊來保障運行,因此國家有關(guān)部門應(yīng)該對多晶硅項目做嚴(yán)格的審批和限制。
對我國多晶硅產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究發(fā)展有什么具體建議?
楊玉安 規(guī)模在千噸級以上的電子級多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)的改進(jìn)完善及在此基礎(chǔ)上的低成本SOG硅生產(chǎn)技術(shù)研發(fā),應(yīng)是制定多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究與發(fā)展規(guī)劃的重點和方向。
在“十一五”期間,為實現(xiàn)采用改良西門子工藝的多晶硅的產(chǎn)業(yè)化,建議開展下述課題研究:基于SiHCl3氫還原法的低電耗多晶硅生成反應(yīng)器技術(shù);干法回收中H2、HCl、SiHCl3、SiCl4混合氣體大能力無油潤滑加壓裝置;SiCl4氫化反應(yīng)器進(jìn)料系統(tǒng)控制技術(shù)裝置;大型多側(cè)線SiHCl3高效提純技術(shù)裝置;千噸級多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)自動控制組態(tài)技術(shù)。
組織多晶硅、硅芯片、太陽能硅電池片制造商聯(lián)手研究多晶硅中雜質(zhì)對太陽能硅電池光電轉(zhuǎn)換效率的影響,確定SOG硅純度和SOG硅工業(yè)經(jīng)濟(jì)學(xué)之間的關(guān)系,制定太陽能光伏硅電池所需SOG硅質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),避免在SOG硅生產(chǎn)中為盲目降低某類雜質(zhì)而帶來的SOG硅生產(chǎn)成本的增加。
嚴(yán)大洲 在我國多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)與創(chuàng)新集成方面有以下重點:
一是在大型節(jié)電還原爐技術(shù)方面,進(jìn)一步研究包括36對棒、48對棒的大型還原爐技術(shù),研究與之配套的多晶硅生長工藝、生產(chǎn)設(shè)備、供電設(shè)備和還原爐啟動設(shè)備,使還原爐直接電耗控制在150千瓦時/千克以下,大大降低多晶硅生產(chǎn)成本,滿足1000噸/年、2000噸/年甚至更大規(guī)模的多晶硅產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線建設(shè)的需求。
二是在高效提純技術(shù)創(chuàng)新集成方面,探索適合多晶硅生產(chǎn)的新提純工藝、技術(shù)和設(shè)備,經(jīng)創(chuàng)新集成,用于多晶硅生產(chǎn)的原料提純。
三是在副產(chǎn)品回收利用技術(shù)開發(fā)方面,多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生大量的四氯化硅,雖然可用氫化技術(shù)讓其轉(zhuǎn)化為三氯氫硅,解決了大量副產(chǎn)品的出路問題,但隨著國內(nèi)外氣相白炭黑、高純石英和光纖預(yù)制棒市場需求的發(fā)展,滿足各種品質(zhì)要求的高純四氯化硅原料的需求量不斷增長,開發(fā)適合以上需求的各種高純四氯化硅,進(jìn)一步解決將該技術(shù)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化相關(guān)的技術(shù)難題,提高副產(chǎn)品四氯化硅的附加值。
四是在流化床多晶硅生產(chǎn)工藝開發(fā)方面,目前,在國外多晶硅生產(chǎn)技術(shù)中,除西門子法生產(chǎn)多晶硅的工藝外,還有硅烷熱分解生產(chǎn)棒狀、粒狀多晶硅工藝以及SiH2Cl2熱分解生產(chǎn)多晶硅工藝,這些方法各具特色,同時存在。
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